多晶硅超纯水多晶硅用超纯水超纯水设备

硅材料――因其具有耐高温和抗辐射性能较好，---适宜制作大功率器件的特性而成为应用多的一种半导体材料，目前的集成电路半导体器件大多数是用硅材料制造的。现在，我们的生活中处处可见“硅”的身影和作用，晶体硅太阳能电池是近15年来形成产业化---的。

多晶硅片,半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态， 有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。

有机污染包括光刻胶、---残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属 金、铜、铁、铬等，---影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠 等，引起---漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、---、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。所以清洗多晶硅、半导体、太阳能光伏电池板必须用超纯水，目前制取超纯水工艺可分为反渗透+混床超纯水设备，二是反渗透+edi超纯水设备，这是两种制取超纯水设备常用的工艺。


处理工艺：
预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(***18mωcm)(传统工艺)
预处理-反渗透-中间水箱-水泵-edi装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-02或05hm精密过滤器-用水对象(***18mωcm)(---工艺)
预处理-一级反渗透-加药机(ph调节)-中间水箱-第二级反渗遗(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-edi装置-紫外线杀南器-02或0.5m精密过滤器-用水对象(>;17mωcm)(---)
预处理-反渗透-中间水箱-水泵-edi装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5精密过滤器-用水对象(***15mωcm)(---工艺)
预处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀药器-精密过滤器-用水对象(***15mω.cm)(传统工艺)
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